汎銓科技近期引進最新一代,可以支援先進製程FIB電路修補設備Centrios,正式上線對外服務。Centrios有新設計的Tomahawk WDR Ion Column與MultiChem Gas Delivery系統,比前一代設備的施工效能更佳,搭配5軸高精準的壓電樣品台、氣體輸送系統、高解析紅外線顯微鏡、以及GDSII CAD輔助導航軟體,能實現精準與高良率的電路修補工作。
除了一般正面電路修補,Centrios更是晶背電路修補的利器,能支援至少7奈米製程工藝。Centrios以新一代Tomahawk WDR Ion Column設計,縮減工作距離,具有較佳的影像解析度,並提升影像解析度與切削效率。其氣體選擇比較佳,新的優化MultiChem Gas Delivery系統對電路修補過程中不同材料所對應的不同反應氣體,控制更精準,並以絕佳的機台控制與施工精準度、更高的成功率,支援至少7奈米製程工藝的電路修補工作。

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